檢索結果：共2筆資料 檢索策略： "Thin film".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="硬度"
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摘 要 本研究是利用濺鍍方式將單層鐵鈀薄膜沉積於Corning 0211玻璃基板上。樣品製備完畢，隨後進行PSC應力分析儀分析試片曲率半徑，進而計算薄膜應力值；奈米壓痕試驗儀得到薄膜楊氏係數(Ef…
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鎢基金屬玻璃薄膜（TFMG）是近年來一種新穎的金屬玻璃材料，它同時具有高硬度和高模量，通常會將它應用於增強各種薄膜硬度上。在本實驗中我們透過幾種不同的沉積方法和薄膜的改質，例如：單靶材沉積、雙靶材共…